ALICAT質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器說(shuō)明

1.ALICAT Scientific專(zhuān)業(yè)從事精密氣體和液體流量和壓力儀表，主要產(chǎn)品類(lèi)別:

• 質(zhì)量流量計(jì)(MFM)--測(cè)量流量(標(biāo)準(zhǔn)或?qū)嶋H)
• 質(zhì)量流量控制器(MFC)--測(cè)量并主動(dòng)控制流量至設(shè)定值。
• 壓力控制器/傳感器--高精度測(cè)量和控制壓力。
• 多變量設(shè)備--結(jié)合流量、壓力和溫度測(cè)量
• 流量和壓力配件--閥門(mén)、配件、歧管、校準(zhǔn)服務(wù)和通信模塊。
  

典型市場(chǎng):半導(dǎo)體、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室、化工石化、環(huán)境監(jiān)測(cè)、暖通空調(diào)測(cè)試、醫(yī)療器械、食品飲料和工業(yè)過(guò)程控制。

2.ALICAT產(chǎn)品的主要共同特征

• 快速響應(yīng)時(shí)間:毫秒級(jí)響應(yīng)，實(shí)現(xiàn)**動(dòng)態(tài)控制。
• 高精度:通常為讀數(shù)的土(0.4-1)%+滿(mǎn)量程或類(lèi)似(取決于型號(hào))。
• 寬調(diào)節(jié)比:在寬流量范圍內(nèi)性能良好。
• 數(shù)字通信:RS-232、USB、以太網(wǎng)、Modbus、4-20mA、0-5V，有時(shí)通過(guò)模塊進(jìn)行12C/SPI。
• 基于質(zhì)量的測(cè)量:直接測(cè)量質(zhì)量流量(不是體積流量)，減少溫度/壓力補(bǔ)償需求。
• 設(shè)定點(diǎn)控制(MFC):用于**跟蹤設(shè)定點(diǎn)的內(nèi)部PID回路。
• 氣體庫(kù):內(nèi)置多種常見(jiàn)氣體的氣體補(bǔ)償功能;提供定制校準(zhǔn)。
• 校準(zhǔn)和認(rèn)證:具有可追溯性的工廠校準(zhǔn);提供重新校準(zhǔn)服務(wù)。
• 堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì):不銹鋼潤(rùn)濕材料，各種端口選項(xiàng)(1/8英寸、1/4英寸、1/2英寸、NPT、VCR)和吹掃選項(xiàng)。
  

3.典型應(yīng)用和示例用例

• A.研究與開(kāi)發(fā)/實(shí)驗(yàn)室

氣體混合和生成:用于實(shí)驗(yàn)的小流量*混合。
泄漏測(cè)試和表征:使用敏感的低流量MFM來(lái)量化泄漏率。
半導(dǎo)體工藝開(kāi)發(fā):以受控質(zhì)量流量輸送反應(yīng)氣體。

• B.半導(dǎo)體和薄膜沉積

CVD/ALD氣體輸送:**控制前驅(qū)體流量以保持薄膜均勻性
工藝工具校準(zhǔn):使用MFM/MFC作為工具調(diào)整的參考標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)，

• C.工業(yè)過(guò)程控制

工藝氣體輸送:通過(guò)Modbus或模擬輸出與PLC/SCADA集成
燃燒器控制和燃料計(jì)量:具有快速響應(yīng)MFC的化學(xué)計(jì)量控制。

• D,環(huán)境監(jiān)測(cè)和校/準(zhǔn)

校準(zhǔn)氣體探測(cè)器:用于氣體傳感器校準(zhǔn)的穩(wěn)定、可追溯的流量源。
環(huán)境和排放監(jiān)測(cè):分析儀的采樣流量控制。

• E.醫(yī)學(xué)與生命科學(xué)

呼吸設(shè)備的氣體混合:**的氧氣/氫氣混合。
生物反應(yīng)器氣體控制:控制培養(yǎng)曝氣的噴射氣體。

• F.暖通空調(diào)、汽車(chē)和發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試

燃料/空氣比測(cè)試:用于發(fā)動(dòng)機(jī)校準(zhǔn)的測(cè)試氣體的*計(jì)量。
腔室流量控制:環(huán)境腔室的受控氣氛。

4.典型產(chǎn)品介紹(如何展示模型)
產(chǎn)品名稱(chēng)和簡(jiǎn)短標(biāo)語(yǔ):例如，ALICAT M系列MFC--用于實(shí)驗(yàn)室和工藝的快速、準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制。
關(guān)鍵規(guī)格:

• 流量范圍和調(diào)節(jié)
• 準(zhǔn)確性和可重復(fù)性
• 響應(yīng)時(shí)間
• 潤(rùn)濕材料和端口類(lèi)型
• 通信接口和電氣輸入/輸出

功能亮點(diǎn):

• 車(chē)載PID控制
• 氣體庫(kù)和媾存儲(chǔ)的校>
• 現(xiàn)場(chǎng)可升級(jí)固件

認(rèn)證與合規(guī)性:

• 校準(zhǔn)可追溯性、CE標(biāo)志、RoHS等
• 典型應(yīng)用:根據(jù)型號(hào)的范圍和兼容性量身定制的縮寫(xiě)列表。
• 支架和配件:閥門(mén)、配件、RS-232/USB電纜、安裝支架、歧管。
  

5冪脞冷數(shù)中慎抃折聳侮?聽(tīng)瀹粍盯咑輛Ю躋?鱺明∈婪蠅丼辮議琨奮汞-電氣、機(jī)械和通信，電氣
電源:許多ALICAT設(shè)備接受24 VDC;檢查特定型號(hào)的電流消耗。
模擬輸出:常見(jiàn)輸出包括0-5V、0-10V和4-20mA，用于流量或壓力回讀。
控制輸入:挰可以通過(guò)模擬輸入、數(shù)字命令或前面板鍵盤(pán)提供設(shè)定點(diǎn)。
機(jī)械/流體
連檊廩用勝靠接繈艱鈍亥扒選擇暈I酷正確的端口類(lèi)型(NPT、壓縮、VCR)和與氣體/流體的材料兼容性。
方向和安裝:有些設(shè)備可以安裝在任何方向;遵循手冊(cè)中的*佳實(shí)踐，避免配件振動(dòng)/應(yīng)變。
過(guò)濾:使用合適的過(guò)濾器保護(hù)傳感器免受顆粒物和冷凝物的影響。
幤轉(zhuǎn)陘虧庥鸚腑拎遘榞跫?xì)s與謅嗓粼欹燾癿觀件
協(xié)齜椒避中議郟夏屙蛤揚(yáng):瀠剴鉸捉扌各淗繒顰百際過(guò)串行/USB、Modbus TCP/RTU和專(zhuān)有命令庫(kù)的本地ASCII命令集。
驅(qū)動(dòng)程序和SDK:ALICAT通常提供驅(qū)動(dòng)程序、示例代碼和LabView/Python示例。
流量單位:可以以sccm、slm、L/min、kg/hr等單位報(bào)告。確保跨系統(tǒng)的單位一致
6.選型指導(dǎo)--如何挑選合適的ALICAT設(shè)備
確定所需的流量范圍，并選擇具有適當(dāng)滿(mǎn)量程和調(diào)節(jié)范圍的模型。
選擇MFM與MFC:僅將MFM用于測(cè)量，需要主動(dòng)控制時(shí)使用MFC.
驗(yàn)證被測(cè)/受控氣體或液體的材料兼容性。
確認(rèn)電氣和通信接口與控制系統(tǒng)的兼容性。
考慮環(huán)境條件(溫度、濕度、振動(dòng))，必要時(shí)選擇工業(yè)級(jí)選項(xiàng)
如果處理混合物或稀有氣體，請(qǐng)檢查氣體庫(kù)的可用性或請(qǐng)求自定義校準(zhǔn)。
7.示例集成/快速啟動(dòng)檢查表
牢固地安裝設(shè)備，并用兼容的配件連接流體管路。
提供正確的電源和接地:檢查接線(xiàn)圖，
使用提供的實(shí)用程序或終端連接通信電纜(USB或RS-232)和測(cè)試命令根據(jù)手冊(cè)將設(shè)備歸零(如果需要)，吹掃管線(xiàn)，并確認(rèn)穩(wěn)定的零讀數(shù)。
對(duì)于MFC:如果需要調(diào)整，請(qǐng)?jiān)O(shè)置PID回路參數(shù):許多應(yīng)用程序使用出廠默認(rèn)值，
在調(diào)試期間使用參考標(biāo)準(zhǔn)記錄數(shù)據(jù)并驗(yàn)證準(zhǔn)確性
8.配件和服務(wù)
閥門(mén)和歧管:用于多通道控制和簡(jiǎn)化管道
校準(zhǔn)服務(wù):工廠重新校準(zhǔn)和校準(zhǔn)證書(shū)。
安裝套件和外殼:用于面板或機(jī)架安裝。
定制氣體校準(zhǔn):適用于不太常見(jiàn)的氣體或特定的混合物校準(zhǔn)。
支持資源:用戶(hù)手冊(cè)、SDK和ALICAT的技術(shù)支持。
9.下一步我可以幫忙
提供特定ALICAT型號(hào)(如M1/M10系列、MC系列)的數(shù)據(jù)表級(jí)詳細(xì)信息
創(chuàng)建接線(xiàn)圖或示例代碼(Python/LabVIEW)以與ALICAT設(shè)備通信。
為您的應(yīng)用程序構(gòu)建一個(gè)選擇表，比較2-5個(gè)ALICAT模型。
起草一份針對(duì)您的安裝環(huán)境量身定制的集成清單。
告笶諭嶽中我蒞謖遞你想關(guān)注哪個(gè)ALICAT模型或應(yīng)用程序，我會(huì)準(zhǔn)備詳細(xì)的規(guī)格、接線(xiàn)圖和示例代碼。
AL瑉鎂咦裀鉉辮捉?瓷釈悞匡祥開(kāi)T質(zhì)量流量計(jì)--介紹與應(yīng)用
1.什么是ALICAT流量計(jì)?ALCAT流量計(jì)是使用直接質(zhì)量傳感測(cè)量氣體和液體質(zhì)量流量(通常是體積流量)的精密儀器。

它們是ALICAT產(chǎn)品組合的一部分，其中包括質(zhì)量流量計(jì)(MFM)和可同時(shí)報(bào)告流量、壓力和溫度的多變量流量計(jì)。

2.主要特征和功能

• 快速響應(yīng)時(shí)間:毫秒到幾十毫秒--對(duì)動(dòng)態(tài)過(guò)程很有用。
• 高精度和可重復(fù)性:典型規(guī)格通常在讀數(shù)+滿(mǎn)量程的+(0.4-1)%范圍內(nèi)(取決于型號(hào))。
• 基于質(zhì)量的測(cè)量:直接報(bào)告質(zhì)量流量(與體積流量計(jì)相比，對(duì)溫度/壓力變化不太敏感)。寬調(diào)節(jié)比:在寬流量范圍內(nèi)**;選擇合適的全尺寸以獲得*佳性能。多種輸出和接口:4-20mA、0-5V、0-10V、RS-232、USB、以太網(wǎng)、Modbus(TCP/RTU)，具體取決于型號(hào)內(nèi)置氣體庫(kù):多種常見(jiàn)氣體預(yù)編程;提供定制校準(zhǔn)。
• 緊湊、堅(jiān)固的結(jié)構(gòu):許多型號(hào)和多端口選項(xiàng)(壓縮、NPT、VCR)采用不銹鋼潤(rùn)濕材料。
• 車(chē)載診斷:內(nèi)部狀態(tài)、錯(cuò)誤標(biāo)志，有時(shí)還會(huì)記錄事件。

3.常見(jiàn)型號(hào)(系列)

M系列(MFM):實(shí)驗(yàn)室和工藝級(jí)氣體質(zhì)量流量計(jì):
多變量流量計(jì):測(cè)量流量、壓力和溫度的設(shè)備，用于更完整的過(guò)程監(jiān)測(cè)。

低流量/微型流量計(jì):用于極低流量(sccm)測(cè)量的專(zhuān)用型號(hào)。(有關(guān)確切的型號(hào)、范圍和數(shù)據(jù)表規(guī)格，請(qǐng)告訴我您感興趣的型號(hào)。)

4.典型應(yīng)用和示例用例
A?玀它口城輔?汗竂謢骶阿室兿甚砧燚喯星研發(fā)
氣體混合和混合:用于實(shí)驗(yàn)和氣體混合物的**、可重復(fù)的流程。
傳感器校準(zhǔn):提供可追溯、穩(wěn)定的流量來(lái)校準(zhǔn)氣體探測(cè)器和分析儀。
反應(yīng)控制:在實(shí)驗(yàn)室化學(xué)或材料研究中對(duì)反應(yīng)氣體進(jìn)料進(jìn)行精細(xì)控制。
8.半導(dǎo)體和薄膜加工
CVD/ALD氣體輸送:保持嚴(yán)格的前驅(qū)體流量控制，以確保均勻的薄膜沉積。
工具校準(zhǔn)和監(jiān)測(cè):集成MFM作為過(guò)程穩(wěn)定性的參考儀器。

• C.工業(yè)過(guò)程監(jiān)測(cè)

工藝氣體計(jì)量:連續(xù)測(cè)量生產(chǎn)線(xiàn)中的消耗氣體或產(chǎn)品氣體流量。
燃燒控制:通過(guò)測(cè)量燃料流量來(lái)調(diào)整燃燒器或加熱器。

• D.環(huán)境和排放監(jiān)測(cè)

取樣泵和分析儀:受控樣品流向分析儀器。
煙囪取樣和稀釋系統(tǒng):確保調(diào)節(jié)流量以進(jìn)行準(zhǔn)確的排放測(cè)量。

• E.醫(yī)學(xué)與生命科學(xué)

設(shè)備中的氣體輸送:準(zhǔn)確輸送氧氣、麻醉載氣或測(cè)試設(shè)備的混合物。
生物反應(yīng)器監(jiān)測(cè):測(cè)量用于細(xì)胞培養(yǎng)控制的射氣體流量。

• F.暖通空調(diào)、汽車(chē)和發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)試

試驗(yàn)臺(tái)上的空氣/燃料計(jì)量:用于發(fā)動(dòng)機(jī)表征的受控空氣或燃料氣流量。
腔室調(diào)節(jié):蛺為環(huán)境腔室測(cè)試提供和監(jiān)測(cè)氣體。

• G.泄漏檢測(cè)和氦氣/示蹤劑研究

泄漏率量化:測(cè)量非常低的流量以檢測(cè)/量化泄漏;氨氣或示蹤氣體流量可以sccm報(bào)告。
5.如何選擇合適的ALICAT流量計(jì)
確定所需的流量范圍:選擇一個(gè)*接近但不遠(yuǎn)于預(yù)期工作流量的滿(mǎn)量程，以獲得*佳精度確定質(zhì)量與體積:ALICAT默認(rèn)報(bào)告質(zhì)量流量，這在壓力/溫度變化時(shí)是有利的。
檢查氣體兼容性:驗(yàn)證氣體是否在氣體庫(kù)中或去排自定義校準(zhǔn)，
選擇通信和輸出:確保儀表支持您的控制系統(tǒng)使用的協(xié)議(模擬、Modbus、USB等)。
考慮潤(rùn)濕材料和端口:將材料兼容性(不銹鋼、黃銅等)和端口類(lèi)型與您的線(xiàn)路/配件相匹配.
環(huán)境考慮因素:溫度限制、振動(dòng)以及設(shè)備是否需要NEMA/IP額定外殼。

6.安裝與集準(zhǔn)注意事項(xiàng)
安裝和方向:大多數(shù)ALICAT流量計(jì)可以以各種方向安裝，但請(qǐng)遵循手冊(cè)以獲得*佳實(shí)踐，并避免配件受到機(jī)械應(yīng)力。
上游/下游管路:盡可能提供足夠的直線(xiàn)管路長(zhǎng)度，并包括過(guò)濾，以保護(hù)傳感器免受顆粒物和冷凝物的影響。
電源:許多設(shè)備需要24 VDC;檢查特定型號(hào)的電源要求。
通信:使用ALICAT的終端實(shí)用程序或簡(jiǎn)單的串行/USB命令測(cè)試基本讀數(shù);Modbus在工業(yè)系統(tǒng)中很常見(jiàn)。
調(diào)零和吹掃:吹掃管線(xiàn)中的污染物，然后根據(jù)手冊(cè)進(jìn)行調(diào)零，以實(shí)現(xiàn)*低偏移測(cè)量。
7.快速啟動(dòng)清單示例
驗(yàn)證模型和全尺寸適用性。
檢查并安裝合適的配件和過(guò)濾器。
連接電源和通信。
如有需要，吹掃管線(xiàn)并進(jìn)行零點(diǎn)校準(zhǔn)。
根據(jù)一個(gè)或多個(gè)流量點(diǎn)的參考值確認(rèn)讀數(shù)。
通過(guò)USB/以太網(wǎng)將輸出集成到PLC/DAQ或日志中:
8.配件及配套產(chǎn)品
如果需要主動(dòng)控制流量，則使用質(zhì)量流量控制器(MFC)。
多通道系統(tǒng)的閥門(mén)和歧管。
按準(zhǔn)服務(wù)和校準(zhǔn)證書(shū)。
適用于惡劣環(huán)境的安裝套件、外殼和過(guò)濾器。
9.想要了解特定型號(hào)的詳細(xì)信息?
如果你告訴我一個(gè)型號(hào)或流量范圍(例如:M系列500sccm，多變量0-100SLPM裝置，或0-10sccm氨氣的流量計(jì))，我可以提供:
該型號(hào)的典型精度和響應(yīng)規(guī)格。
建議的接線(xiàn)圖和引腳。
讀取流的示例命令或簡(jiǎn)短的Python/Modbus代碼
推薦的配件、過(guò)濾器和校準(zhǔn)選項(xiàng)。
您需要特定ALICAT型號(hào)的詳細(xì)信息，還是與ALICAT流量計(jì)接口的示例接線(xiàn)/代碼片段?